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首發(fā)GAA晶體管技術(shù),三星3nm工藝成功流片

2021-07-01 來源:中電網(wǎng)
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目前全球已量產(chǎn)的最先進(jìn)工藝是5nm,臺(tái)積電明年就要量產(chǎn)3nm工藝,不過3nm節(jié)點(diǎn)他們依然選擇FinFET晶體管技術(shù),三星則選擇了GAA技術(shù),日前三星也成功流片了3nm GAA芯片,邁出了關(guān)鍵一步。

在3nm節(jié)點(diǎn),三星比較激進(jìn),直接選擇了下一代工藝技術(shù)——GAA環(huán)繞柵極晶體管,通過使用納米片設(shè)備制造出了MBCFET(Multi-Bridge-Channel FET,多橋-通道場(chǎng)效應(yīng)管),該技術(shù)可以顯著增強(qiáng)晶體管性能,主要取代FinFET晶體管技術(shù)。

根據(jù)三星的說法,與5nm制造工藝相比,3nm GAA技術(shù)的邏輯面積效率提高了35%以上,功耗降低了50%,性能提高了約30%。

三星早在2019年就公布了3nm GAA工藝的PDK物理設(shè)計(jì)套件標(biāo)準(zhǔn),這次3nm芯片流片是跟Synopsys合作完成的,雙方聯(lián)合驗(yàn)證了該工藝的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)流程,是3nm GAA工藝的里程碑。

不過三星、Synopsys并沒有透露這次驗(yàn)證的3nm GAA芯片的詳情,官方只說GAA架構(gòu)改進(jìn)了靜電特性,提高了性能,降低了功耗。

3nm GAA工藝流片意味著該工藝量產(chǎn)又近了一步,不過最終的進(jìn)度依然不好說,三星最早說在2021年就能量產(chǎn),后來推遲到2022年,但是從現(xiàn)在的情況來看,明年臺(tái)積電3nm工藝量產(chǎn)時(shí),三星的3nm恐怕還沒準(zhǔn)備好,依然要晚一些。