國(guó)產(chǎn)芯大突破:中科院立功,國(guó)內(nèi)首片300mm RF-SOI晶圓
眾所周知,目前的芯片以硅基芯片為主,即采用硅為原料,制造成晶圓,再通過光刻機(jī)、刻蝕等技術(shù),變成祼片,再切割,封裝成一顆顆成品芯片。
硅晶圓可以說是最重要的材料,但硅晶圓也分為很多種,并不是所有的芯片使用硅晶圓都是一樣的,一般不同的芯片類型,有不同的硅晶圓。
比如近日,中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)所就表示,研究團(tuán)隊(duì)制備出了國(guó)內(nèi)第一片300mm射頻(RF)SOI晶圓,實(shí)現(xiàn)了0的突破。
這個(gè)SOI晶圓就是一種特色晶圓,SOI是Silicon On Insulator的簡(jiǎn)稱,也就是硅晶體管結(jié)構(gòu)在絕緣體之上的意思。
SOI晶圓的優(yōu)點(diǎn),就是能夠減少電流漏電,從而降低功耗,因?yàn)槟壳暗男酒╇姽?,已?jīng)占到了所有功耗的一半了,能夠減少漏電電流,就能夠大幅度降低功耗,減少發(fā)熱。
還有SOI晶圓,能夠提升時(shí)鐘頻率,所以這種晶圓,一般適用于低功率、低發(fā)熱、功耗、熱量敏感型的器件,比如射頻、功率和硅光器件這些芯片。
以前國(guó)內(nèi)是無(wú)法制造這種SOI晶圓的,全球SOI晶圓90%以上的市場(chǎng)被法國(guó)Soitec壟斷。而在SOI晶圓制造上,美國(guó)的格芯又是最牛的,所以目前全球眾多的射頻芯片,全是格芯代工的,甚至美國(guó)軍方大多數(shù)射頻器件的代工,都是格芯。
當(dāng)然,隨著工藝的不斷細(xì)分,目前SOI晶圓也分為很多種,比如FD-SOI、RF-SOI、Power-SOI、Photonics-SOI、Imager-SOI。
這些晶圓用于不同的芯片、不同的領(lǐng)域,而這次中科院制造出來(lái)的只是RF-SOI,但相信后續(xù)接下來(lái),我們能夠制造出更多的SOI晶圓。
此外,隨著國(guó)產(chǎn)SOI晶圓的生產(chǎn),也將推進(jìn)國(guó)內(nèi)SOI晶圓的代工生產(chǎn)等,要知道目前國(guó)內(nèi)射頻芯片發(fā)展相對(duì)落后,比如手機(jī)使用的射頻芯片,特別是高端射頻芯片,比如5G射頻芯片,國(guó)內(nèi)制造大多不出來(lái),大量依賴進(jìn)口。
而RF-SOI晶圓的問世,想必也能夠推動(dòng)射頻芯片的代工、封裝等與之配套的產(chǎn)業(yè)發(fā)展,從而減少后續(xù)對(duì)國(guó)外射頻芯片的依賴。
