中商情報網(wǎng)訊：在國家安全、卡脖子壓力下，半導(dǎo)體設(shè)備市場需求增加；國家支持和市場需求調(diào)動了各路產(chǎn)業(yè)資本跑步進(jìn)入半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域；國內(nèi)全產(chǎn)業(yè)鏈大力配合支持，半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)工作相比此前大幅提速，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率的穩(wěn)步提升。

一、半導(dǎo)體設(shè)備定義

半導(dǎo)體專用設(shè)備泛指用于生產(chǎn)各類半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的生產(chǎn)設(shè)備，屬于半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的支撐環(huán)節(jié)。在整個芯片制造和封測過程中，會經(jīng)過上千道加工工序，細(xì)分又可以劃分出百種不同的機(jī)臺，主要有：光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、離子注入機(jī)、半導(dǎo)體芯片測試設(shè)備、分選機(jī)、探針臺等，具體如圖所示：

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

二、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展政策

近年來，中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)受到各級政府的高度重視和國家產(chǎn)業(yè)政策的重點支持。國家陸續(xù)出臺了多項政策，鼓勵半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展與創(chuàng)新，《虛擬現(xiàn)實與行業(yè)應(yīng)用融合發(fā)展行動計劃（2022-2026年）》《深圳市培育發(fā)展半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)集群行動計劃（2022-2025年）》《“十四五”數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展規(guī)劃》等產(chǎn)業(yè)政策為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的發(fā)展提供了明確、廣闊的市場前景，為企業(yè)提供了良好的生產(chǎn)經(jīng)營環(huán)境。具體情況列示如下：

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

三、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

1.市場規(guī)模

半導(dǎo)體設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的先導(dǎo)性、基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)，具有技術(shù)壁壘高、研發(fā)周期長、研發(fā)投入高、制造難度大、設(shè)備價值高、客戶驗證壁壘高等特點，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中最難攻克卻至關(guān)重要的一環(huán)。2022年中國半導(dǎo)體預(yù)計將繼續(xù)增長，規(guī)模達(dá)到2745.15億元。預(yù)計2023年中國大陸半導(dǎo)體市場規(guī)模將達(dá)3032億元。

數(shù)據(jù)來源：SEMI、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2.市場結(jié)構(gòu)

從細(xì)分產(chǎn)品來看，光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備為半導(dǎo)體設(shè)備主要核心設(shè)備，市場占比均在20%以上。其中，光刻機(jī)的市場占比為24%、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備市場占比均為20%。此外，測試設(shè)備和封裝設(shè)備的市場占比分別為9%、6%。

數(shù)據(jù)來源：SEMI、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

3.細(xì)分市場

（1）光刻機(jī)

全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)復(fù)蘇,受益于下游晶圓巨大需求、服務(wù)器云計算和5G基礎(chǔ)建設(shè)的發(fā)展,相關(guān)芯片的需求增加。2021年全球光刻機(jī)銷量為450臺，2022年約為510臺，隨著下游市場需求持續(xù)升高，預(yù)計2023全球市場仍將持續(xù)增長，銷量將超550臺。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

（2）刻蝕機(jī)

近年來，由于云計算和人工智能的快速發(fā)展，芯片需求不斷增長，進(jìn)而使得刻蝕設(shè)備需求維持高增長，2021年市場規(guī)模達(dá)375.28億元，同比增長50%。2022年市場規(guī)模約為410億元，隨著國內(nèi)行業(yè)政策的加持，以及疫后復(fù)蘇對于半導(dǎo)體芯片的龐大需求，預(yù)計2023年市場規(guī)模將達(dá)480億元。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

4.融資情況

2023年上半年，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的早期融資成為VC、PE熱捧的“黃金賽道”。多家公司單次融資達(dá)數(shù)千萬元級別，甚或達(dá)到數(shù)億元級別。

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

四、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)重點企業(yè)

1.北方華創(chuàng)

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司主要從事半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和技術(shù)服務(wù)。主要產(chǎn)品為電子工藝裝備和電子元器件。北方華創(chuàng)是國內(nèi)設(shè)備廠商龍頭企業(yè)，主營氧化擴(kuò)散設(shè)備、刻蝕設(shè)備（干法刻蝕）、薄膜沉積工藝CVD和PVD、清洗設(shè)備等，幾乎涵蓋了半導(dǎo)體設(shè)備全領(lǐng)域。

2023年第一季度實現(xiàn)營業(yè)收入38.71億元，同比增81.23%；實現(xiàn)歸母凈利潤5.92億元，同比增長187.38%。2022年主營產(chǎn)品包括電子工藝裝備、電子元器件，占比分別為82.27%、17.53%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2.中微公司

中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司的主營業(yè)務(wù)是半導(dǎo)體設(shè)備及泛半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。中微公司的主要產(chǎn)品有電容性等離子體刻蝕設(shè)備，電感性等離子體刻蝕設(shè)備，MOCVD設(shè)備，VOC設(shè)備。

2023年第一季度實現(xiàn)營業(yè)收入12.23億元，同比增長28.87%；實現(xiàn)歸母凈利潤2.75億元，同比增長135.04%。2022年主營產(chǎn)品包括專用設(shè)備、備品備件、服務(wù)收入，占比分別為81.17%、17.62%、1.21%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

3.盛美上海

盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司主要從事高端半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。主要產(chǎn)品為半導(dǎo)體清洗設(shè)備、半導(dǎo)體電鍍設(shè)備和先進(jìn)封裝濕法設(shè)備等。

2023年第一季度實現(xiàn)營業(yè)收入6.16億元，同比增長74.01%；實現(xiàn)歸母凈利潤1.31億元，同比增長3175%。2022年主營產(chǎn)品包括半導(dǎo)體清洗設(shè)備、先進(jìn)封裝濕法設(shè)備，占比分別為72.34%、5.57%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

4.長川科技

杭州長川科技股份有限公司主要從事集成電路專用測試設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,是一家致力于提升我國集成電路專用測試技術(shù)水平、積極推動集成電路裝備業(yè)升級的國家高新技術(shù)企業(yè)和軟件企業(yè)。長川科技主要產(chǎn)品包括集成電路測試機(jī)、分選機(jī)。

2023年第一季度實現(xiàn)營業(yè)收入3.2億元，同比下降40.52%；歸母凈利潤虧損0.57億元。2022年主營產(chǎn)品包括分選機(jī)、測試機(jī)，占比分別為48.71%、43.32%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

5.拓荊科技

拓荊科技股份有限公司主要從事高端半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和技術(shù)服務(wù)。拓荊科技主要產(chǎn)品為半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備包括PECVD設(shè)備、ALD設(shè)備及SACVD設(shè)備三個系列。

2023年第一季度實現(xiàn)營業(yè)收入4.02億元，同比增長272.22%；實現(xiàn)歸母凈利潤0.54億元，同比增長550%。2022年主營產(chǎn)品包括PECVD設(shè)備、SACVD設(shè)備、ALD設(shè)備，占比分別為91.65%、5.25%、1.91%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

五、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景

1.國家政策大力支持設(shè)備國產(chǎn)化提升

半導(dǎo)體行業(yè)是現(xiàn)代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)和核心，事關(guān)國民經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展。在外部因素的影響下，半導(dǎo)體制程實現(xiàn)自主可控成為了我國在該領(lǐng)域的戰(zhàn)略方向。近年來，中央及地方政府對半導(dǎo)體行業(yè)給予了高度重視和大力支持，出臺了一系列扶持政策，相關(guān)政策和法規(guī)為半導(dǎo)體及行業(yè)及專用設(shè)備行業(yè)提供了資金、稅收、技術(shù)和人才等多方面的有力支持，為國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)營造了良好的經(jīng)營環(huán)境，大力促進(jìn)了國內(nèi)半導(dǎo)體及其專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展，提升國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的競爭力。

2.半導(dǎo)體應(yīng)用和消費(fèi)市場需求穩(wěn)定增長

物聯(lián)網(wǎng)、5G通信、汽車電子等新型應(yīng)用市場的不斷發(fā)展產(chǎn)生了巨大的半導(dǎo)體產(chǎn)品需求，推動半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)入新一輪的發(fā)展周期。全球范圍內(nèi)，晶圓廠產(chǎn)能擴(kuò)充仍在繼續(xù)，下游需求的不斷發(fā)展為半導(dǎo)體設(shè)備制造產(chǎn)業(yè)的擴(kuò)張和升級提供了機(jī)遇。

3.半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)重心轉(zhuǎn)移為本土設(shè)備廠商提供巨大機(jī)遇

憑借巨大的市場容量以及多年的發(fā)展，廣闊的下游市場和不斷完善的上下游產(chǎn)業(yè)鏈帶動全球產(chǎn)能重心逐步向中國大陸轉(zhuǎn)移，中國已然成為全球最大的半導(dǎo)體消費(fèi)國和生產(chǎn)國。預(yù)計半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模的不斷擴(kuò)大將為國內(nèi)設(shè)備廠商帶來巨大發(fā)展機(jī)遇，國產(chǎn)設(shè)備將加速導(dǎo)入大陸晶圓廠，因此國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備有望迎來快速發(fā)展期。