在ASML追隨美國的腳步停止對(duì)中國出售14納米光刻機(jī)之后，其實(shí)ASML還留了后手，那就是它表示仍然可以對(duì)中國出售28納米的浸潤(rùn)式光刻機(jī)，而這款光刻機(jī)其實(shí)也可用于14納米工藝生產(chǎn)，只不過需要多重曝光技術(shù)，生產(chǎn)成本較高。

ASML保留的這個(gè)后手就是繼續(xù)對(duì)中國出售NXT:1980Di，這款型號(hào)的光刻機(jī)其實(shí)同樣屬于浸潤(rùn)式光刻機(jī)，在數(shù)年前其實(shí)是屬于相當(dāng)先進(jìn)的光刻機(jī)，臺(tái)積電不僅將它用于生產(chǎn)14納米工藝，還用于生產(chǎn)第一代7納米工藝。

當(dāng)然將NXT:1980Di用于生產(chǎn)14納米乃至7納米工藝仍然需要廠商有很強(qiáng)的技術(shù)能力，生產(chǎn)的成本也會(huì)較高，而且性能不太理想，當(dāng)時(shí)臺(tái)積電以這型號(hào)的光刻機(jī)生產(chǎn)的7納米工藝表現(xiàn)就不太理想，隨后引入EUV光刻機(jī)之后生產(chǎn)的7納米EUV工藝性能得到大幅度提升。

中國的芯片企業(yè)用NXT:1980Di生產(chǎn)14納米和7納米都是有可能的，目前國內(nèi)最大的芯片代工企業(yè)中芯國際的CEO梁孟松就擁有很強(qiáng)的7納米技術(shù)，梁孟松曾幫助臺(tái)積電和三星推進(jìn)7納米工藝，國內(nèi)芯片制造企業(yè)以這款光刻機(jī)推進(jìn)7納米也就有了可能性。

ASML繼續(xù)保留著NXT:1980Di這款浸潤(rùn)式光刻機(jī)的銷售其實(shí)并非好心，它希望這款舊型號(hào)的光刻機(jī)能繼續(xù)發(fā)光發(fā)熱，畢竟技術(shù)成熟、成本較低，對(duì)中國出售的價(jià)格恐怕也不會(huì)太低，如此它將能由此獲得豐厚的利潤(rùn)，更重要的是它可能已認(rèn)識(shí)到中國在浸潤(rùn)式光刻機(jī)方面已取得突破。

其實(shí)中國的浸潤(rùn)式光刻機(jī)早在兩年前就已交付樣機(jī)，據(jù)稱主要是因?yàn)殡p工作臺(tái)的穩(wěn)定性不足導(dǎo)致整體精度不穩(wěn)定，去年哈工大公布的平面光柵激光干涉儀技術(shù)恰恰是為了解決浸潤(rùn)式光刻機(jī)的整體精度問題。

近期一家中國手機(jī)企業(yè)被傳出將推出采用國產(chǎn)14納米工藝生產(chǎn)的5G手機(jī)芯片，這或許意味著不僅國產(chǎn)的浸潤(rùn)式光刻機(jī)已投產(chǎn)，還解決了14納米的光刻膠等材料國產(chǎn)化的問題，因?yàn)槿绻捎昧嗣绹夹g(shù)就不能為這家中國手機(jī)企業(yè)生產(chǎn)芯片。

國產(chǎn)浸潤(rùn)式光刻機(jī)的突破可能才是ASML保持著繼續(xù)供應(yīng)NXT:1980Di的重要原因，它可能試圖借此吸引中國芯片企業(yè)采購它的光刻機(jī)，而減少采用國產(chǎn)的光刻機(jī)，如此一來就能延緩國產(chǎn)光刻機(jī)的技術(shù)進(jìn)展。

對(duì)于28納米乃至14納米和7納米浸潤(rùn)式光刻機(jī)來說，其實(shí)技術(shù)基本是相通的，只要國產(chǎn)光刻機(jī)能量產(chǎn)28納米浸潤(rùn)式光刻機(jī)，納米解決14納米、7納米浸潤(rùn)式光刻機(jī)的問題也就快多了，可以說ASML的選擇印證了國產(chǎn)浸潤(rùn)式光刻機(jī)的重要突破。

ASML的選擇證明了中國芯片就需要堅(jiān)定推進(jìn)自主研發(fā)，只要我們?nèi)〉猛黄频募夹g(shù)，海外就會(huì)供應(yīng)乃至降價(jià)供應(yīng)，此前在液晶面板以及當(dāng)前價(jià)格大跌的固態(tài)硬盤都證明了這一點(diǎn)，可以說ASML完全就是惺惺作態(tài)，中國芯片行業(yè)應(yīng)該更緊密支持國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈，畢竟只有我們的自己技術(shù)才能真正掌握在手里，不受他人控制，正如知名院士倪光南所說“先進(jìn)技術(shù)是買不來的、求不來的”。