原因是只有ASML能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī),而要目前的芯片制造流程和工藝下,EUV光刻機(jī)是制造7nm及以下芯片必不可少的機(jī)器,沒有替代品。
所以我們看到三星、臺積電在爭搶EUV光刻機(jī),因?yàn)镋UV光刻機(jī)就決定了雙方的產(chǎn)能、工藝等等。
而我們也清楚,國內(nèi)的中芯曾經(jīng)也訂購過一臺EUV光刻機(jī),不過美國中從干涉,現(xiàn)在是苦等EUV光刻機(jī)而不得,工藝停留在14nm,很難前進(jìn)。
這樣的情況,當(dāng)然是全球所有晶圓廠,甚至可以說是全球的產(chǎn)導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)都不愿意看到的,一家企業(yè)卡住全球半導(dǎo)體的脖子,這怎么能行呢?
所以大家都在想辦法,繞過EUV光刻機(jī),或者找到替代EUV光刻機(jī)的設(shè)備,解決卡脖子的問題。
目前有想從光刻機(jī)技術(shù)上解決的,比如佳能押注NIL技術(shù),也就是納米壓印,將芯片的電路板,像打印機(jī)一樣,打印到硅片上,能夠比EUV光刻機(jī)精度更高,功耗更低,成本更低。
而美國企業(yè)在搞EBL電子束光刻機(jī),用電子來替代EUV光源來進(jìn)行光刻,美國公司Zyvex甚至用電子束光刻技術(shù)制造了768皮米,也就是0.7nm的芯片,但目前是這種光刻機(jī)無法大規(guī)模量芯片,產(chǎn)能不行,但還有改進(jìn)空間。
另外還有自組裝(DSA)光刻技術(shù),利用新的化學(xué)材料,讓電路圖直接在硅片上生成,不需要光刻,像比利時(shí)微電子中心、麻省理工學(xué)院,他們都建立了自組裝產(chǎn)線進(jìn)行研究。
而除了這三種技術(shù)外,還有X-射線光刻。以及通過改進(jìn)晶體管結(jié)構(gòu),比如3D封裝、堆疊技術(shù)、Chiplet技術(shù)等,通過這些技術(shù)來微縮晶體管,提升晶體管密度,從而不需要EUV光刻機(jī),也能提升性能。
還有就是研發(fā)新的材料,比如碳基芯片、光電子芯片、量子芯片等,通過這些新的技術(shù),來繞過EUV光刻機(jī)。
可以說,目前ASML也是壓力山大,畢竟ASML的帝國,是靠EUV光刻機(jī)鞏固的,一旦EUV不再是不可替代,ASML的地位堪憂。
更重要是,通過ASML構(gòu)成的半導(dǎo)體生態(tài),也將迎來大洗牌,這個(gè)洗牌,可能會影響全球的半導(dǎo)體格局,所以誰都不想錯(cuò)過機(jī)會,誰也無法置身事外。