發(fā)力NIL技術(shù),佳能想給中國提供光刻機,還是媲美EUV的那種
眾所周知,目前芯片的制造流程中,光刻機是必不可少的設備,且從成本來看,光刻機占所有半導體設備成本的20-25%。
但是大家也清楚,當前在光刻機領(lǐng)域,ASML是一家獨大,特別是EUV光刻機,只有ASML能夠生產(chǎn),而在尖端一點的DUV光刻上面,也是ASML占優(yōu),佳能、尼康等品牌,主要占的是低檔市場。
如上圖所示,這是機構(gòu)統(tǒng)計的2021年前道光刻機出貨量情況,大家可以看到高檔的EUV光刻機,ASML完全壟斷,低檔尼康、佳能有一定的份額。
而中國大量需要光刻機,特別是EUV光刻機,這就造成了市場與需求的不匹配,但ASML也沒辦法啊。
所以其它廠商有一個非常大的機會,那就是搞定EUV光刻機,然后賣給中國,那會是巨大的市場。
不過,要掌握EUV光刻機技術(shù),可不容易,因為ASML造EUV光刻機,是整合了全球的技術(shù),美國的光源、德國的鏡片、英國的真空腔,可以說是舉全球之力完成的。
雖然尼康、佳能、上海微電子都有光刻機,但要搞定EUV光刻機,估計是沒太多辦法的,ASML攢局的能力太強了,已經(jīng)將利益鏈捆綁在一起了。
為此,這要怎么辦呢?當然就要換道超車了,比如佳能,知道在EUV上是不可能打敗ASML的,所以一直押注納米壓印光刻(NIL)技術(shù)。
所謂NIL技術(shù),是將三維結(jié)構(gòu)的掩膜壓在晶圓的感光材料上,同時照射光線完成一次性轉(zhuǎn)印,被稱為是最有前景的光刻技術(shù)之一。
目前在NIL的專利上,佳能一支獨秀,遠超其它任何廠商,并且佳能的NIL光刻機不僅僅是停留在紙面上,而是已經(jīng)有有生產(chǎn)出來了,在2021年就有了成品,并且被鎧俠應用于NAND閃存的生產(chǎn)。
佳能近日表示,接下來會研發(fā)新一代的NIL光刻機,新一代的NIL光刻機,有可能應用于28nm甚至14nm及以下的工藝。
值得大家注意的是,目前NIL技術(shù),基本上都是日系廠商掌握,并不需要依賴美國、歐洲等的產(chǎn)業(yè)鏈,也就是說NIL光刻機,日本一旦生產(chǎn)出來,可以不聽美國的,不受美國的長臂管轄,也意味著佳能一定生產(chǎn)出來,是可以賣給中國的。
當然現(xiàn)在的問題是,能夠媲美EUV光刻機的NIL光刻機,究竟會在什么時候面市,如果佳能能夠?qū)崿F(xiàn)這個技術(shù),全球的半導體格局都有可能生變。
一旦媲美EUV光刻機的NIL光刻機面市,以ASML為中心,以為美國意志為體現(xiàn)的的先進工藝制程,可能就再也不聽美國的了,會迎來蓬勃發(fā)展,可能全球都在盼望著佳能的大動作,特別是中國。
