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長江存儲公開“晶圓承載裝置及晶圓檢測設(shè)備”專利

2022-07-12 來源:網(wǎng)絡(luò)整理
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關(guān)鍵詞: 晶圓


天眼查顯示,近日長江存儲科技有限責(zé)任公司公開多項專利,其中一條名稱為“晶圓承載裝置及晶圓檢測設(shè)備”,公開號為CN216926626U。


專利摘要顯示,本申請實施例公開了一種晶圓承載裝置及晶圓檢測設(shè)備,所述晶圓具有相背設(shè)置的兩個待檢測面,所述晶圓承載裝置包括承載組件和固定組件;承載組件具有鏤空區(qū)域;固定組件設(shè)于所述承載組件上,用于將所述晶圓固定于所述承載組件上;其中,所述晶圓固定于所述承載組件上時,所述晶圓在所述鏤空區(qū)域的正投影至少部分與所述鏤空區(qū)域重疊,本申請中,通過鏤空區(qū)域可使晶圓相背的兩個待檢測面同時外露,簡化了晶圓的檢測過程,提高了檢測效率。